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環(huán)境型原子力顯微鏡 AFM5300E

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上海維翰光電科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品說明： 1. 環(huán)境控制功能（大氣，真空，液體，溫控等） AFM5300E能夠?qū)崿F(xiàn)高真空的測試環(huán)境，減小樣品表面吸附水對測試的影響，實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的物理特性測量。真空環(huán)境下可以實(shí)現(xiàn)更...

詳細(xì)介紹

1. 環(huán)境控制功能（大氣，真空，液體，溫控等） AFM5300E能夠?qū)崿F(xiàn)高真空的測試環(huán)境，減小樣品表面吸附水對測試的影響，實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的物理特性測量。真空環(huán)境下可以實(shí)現(xiàn)更大范圍的溫度控制。（*利3857581號、*利3926638號） ●大氣中　●液體中　●真空中　●特s氣氛（流量控制） ●溫度控制加熱?冷卻(-120～300℃)　高溫(室溫～800℃)

1. 環(huán)境控制功能（大氣，真空，液體，溫控等）
AFM5300E能夠?qū)崿F(xiàn)高真空的測試環(huán)境，減小樣品表面吸附水對測試的影響，實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的物理特性測量。真空環(huán)境下可以實(shí)現(xiàn)更大范圍的溫度控制。（*利3857581號、*利3926638號）
●大氣中　●液體中　●真空中　●特s氣氛（流量控制）
●溫度控制加熱?冷卻(-120～300℃)　高溫(室溫～800℃)
●濕度控制(0～80%)

2. 簡便操作（綜合型Holder Flange）
通過采用『綜合型Holder Flange開合功能』，樣品和掃描器更換更為方便的同時(shí)，免去了以往環(huán)境型SPM的樣品更換后的所需的光軸調(diào)整。也省去測試模式切換時(shí)的支架更換環(huán)節(jié)。

3. 高性能
采用了『Swing Cancel功能』，減輕了樣品的浮動(dòng)，降低了漂移。提高了納米分析性能，提升了可信度。

4. 通過減輕表面吸附水的影響，提高了電氣性能的檢測精度
真空環(huán)境下減輕樣品表面吸附的水分和污染物的影響，因而實(shí)現(xiàn)高分辨高靈敏的電學(xué)性能分析。

技術(shù)參數(shù)

分辨率	原子相
樣品尺寸	20 mmφ、厚度10 mm (用配件厚度擴(kuò)展至20 mm)
樣品移動(dòng)范圍	X-Y stage 5 mm
掃描范圍	標(biāo)準(zhǔn)： 20 µm□/1.5 µmH • 150 µm□/5 µmH • 15 µm□/1.5 µmH（閉環(huán)差控制）定位顯微鏡 • 簡易顯微鏡（×200倍） • 光學(xué)顯微鏡（×1000倍） • 變焦顯微鏡（×700倍） • 金相顯微鏡（裝有微分干渉）（×2000倍）
檢測功能	DFM（輕敲模式） FFM（摩擦） SIS模式 VE-AFM/DFM（粘彈性） CURRENT（電流） SNDM（非線性介電常數(shù)）液體中AFM/DFM NanoIndentation（硬度） Nano-TA（微區(qū)加熱）
選配件	高溫加熱樣品臺加熱冷卻兼用樣品臺冷卻真空溫度控制