適用于4"&5"&6"&8"晶圓

操作簡便

貼膜質(zhì)量

沒有氣泡（不包括灰塵顆粒氣泡）

每小時產(chǎn)能

≥ 80片晶圓

更換產(chǎn)品時間

≤ 5分鐘

晶圓厚度

300 ~750微米

晶圓種類

硅, 砷化鎵或其它

單平邊,雙平邊,V型缺口

膠膜種類

藍(lán)膜或者UV膜

寬度：120~240毫米

長度：100米

厚度：0.05~0.2毫米

貼膜原理

防靜電滾輪貼膜

貼膜動作

自動拉膜和貼膜

晶圓臺盤

通用(一體式)特氟隆防靜電涂層接觸式臺盤;或硅膠臺盤;或陶瓷臺盤

裝卸方式

晶圓手動放置與取出

防靜電控制

防靜電特氟隆涂層晶圓臺盤/防靜電貼膜滾輪/除靜電離子發(fā)生器

切割系統(tǒng)

的手動可調(diào)整環(huán)形切刀適用于不同的晶圓外形，

刀頭帶獨(dú)立加熱機(jī)構(gòu)無任何飛邊，并省去修邊

的手動直切刀設(shè)計，為省膜的設(shè)計；切割刀溫度：達(dá)150℃

晶圓定位

通用標(biāo)線/彈簧銷釘

控制單元

基于PLC 控制，并帶5.7"觸摸屏

安全防護(hù)

配置緊急停機(jī)按鈕

電源電壓

相交流電220V,10A

壓縮空氣

5公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘2立方英尺

機(jī)器外殼

白色噴塑金屬外殼

體積

560毫米(寬)*880毫米(深)*500毫米(高)

凈重

80公斤