手動放置和取出晶圓/承載環(huán)

自動膠膜進給和貼膜

支持各種膜類，包括預切割膜、非預切割膜、DAF膜、特種膜類

自動圓形切刀用于非預切割膜的切割

自動收卷襯紙，適用于UV膜和非UV膜

晶圓臺盤溫度可編程控制，可達120℃

標準8"晶圓臺盤用于8"晶圓，可配置金屬臺盤或高密度陶瓷臺盤

PLC控制，帶5.7"觸摸屏

配置光簾保護功能，和緊急停機按鈕

三色燈塔和蜂鳴器用于操作狀態(tài)監(jiān)控

貼膜質(zhì)量

沒有氣泡（不包括灰塵顆粒氣泡）

每小時產(chǎn)能

≥80片晶圓

MTBF

>500小時

MTTR

<1小時

停機時間

<3%

晶圓直徑

8"& 12"

晶圓厚度

50~750微米

晶圓種類

正常的V型缺口晶圓

膜種類

預切割膜、DAF膜、非預切割膜、或者UV膜

寬度：290毫米預切割膜/DAF膜

         320毫米UV/非UV膜

長度：100米

厚度：0.05~0.2毫米

晶圓承載環(huán)

8"DISCO 或者K&S標準

貼膜定位精度

±1mm

裝卸方式

手動晶圓/承載環(huán)放置與取出

防靜電控制

去離子風扇

臺盤溫度

室溫~ 120℃，可編程控制

切割系統(tǒng)

環(huán)型切刀用于8"DISCO承載環(huán)

控制單元

基于PLC 控制，帶5.7"觸摸屏

安全防護

配置光簾保護和緊急停機按鈕

電源電壓

單相交流電220V,16A

壓縮空氣

60 PSI清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘2.5立方英尺

機器結(jié)構(gòu)

全鋁型材制造，堅固耐用

機器外殼

白色噴塑金屬外殼

體積

800毫米(寬)*1450毫米(深)*1980毫米(高)

凈重

350公斤