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可見光靶標(biāo)

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可見光靶標(biāo)可見光靶標(biāo)主要分為兩類：A)反射式靶標(biāo)，B）透射式靶標(biāo)

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可見光靶標(biāo)

可見光靶標(biāo)主要分為兩類：A)反射式靶標(biāo)，B）透射式靶標(biāo)。反射式靶標(biāo)無法提供高精度的靶標(biāo)圖形因此只能用于可見光成像系統(tǒng)簡(jiǎn)單的評(píng)估測(cè)試。透射式靶標(biāo)的精度可以達(dá)到次微米級(jí)，通常采用在干凈的玻璃基板上光刻的方法而得到。Inframet采用USAF 1951靶標(biāo)，其具備很好的通用性，既支持低分辨率相機(jī)測(cè)試，也同時(shí)支持高分辨率相機(jī)測(cè)試。

參數(shù)	數(shù)值
圖案類型	3桿
圖案組數(shù)	0到7 (可選0-8)
空間頻率范圍	1-228lp/mm (可選1-456lp/mm)
對(duì)比度	2%到99%
基板	鈉鈣玻璃 (可選石英)
圖形鍍膜	鉻
靶標(biāo)板尺寸	23x23 mm