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更新時(shí)間：2023-08-14 13:24:45瀏覽次數(shù)：208次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 紡織服裝機(jī)械網(wǎng)系統(tǒng)說明RUIDU 科研型納米壓印光刻系統(tǒng) RD-NIL100RUIDU 科研型納米壓印光刻系統(tǒng) RD-NIL100 RD-NIL100，是一款桌面型納米壓印光刻系統(tǒng)。主要應(yīng)用于微米或納米結(jié)構(gòu)的壓印成型。系統(tǒng)特點(diǎn)?●桌面型，4 / 6 / 8英寸可選●?熱壓?。?30℃，誤差±2℃?●真空環(huán)境作業(yè)，＜1mbar●?可壓印分辨率＜50nm圖案
系統(tǒng)說明RUIDU 科研型納米壓印光刻系統(tǒng) RD-NIL100RUIDU 科研型納米壓印光刻系統(tǒng) RD-NIL100 RD-NIL100，是一款桌面型納米壓印光刻系統(tǒng)。主要應(yīng)用于微米或納米結(jié)構(gòu)的壓印成型。系統(tǒng)特點(diǎn)?●桌面型，4 / 6 / 8英寸可選●?熱壓?。?30℃，誤差±2℃?●真空環(huán)境作業(yè)，＜1mbar●?可壓印分辨率＜50nm圖案
可實(shí)現(xiàn)圖案轉(zhuǎn)移分辨率 | 分辨率<50nm，可同時(shí)實(shí)現(xiàn)UV紫外固化和熱壓印兩種模式 |
壓印精度控制及均勻性 | 在紫外固化模式下，可實(shí)現(xiàn)5:1深寬比，優(yōu)異的壓印高度均勻性 |
熱壓印 | 230℃；100°C/min升溫速度；可以根據(jù)壓印材料，通過軟件實(shí)現(xiàn)不同溫度控制 |
UV光源 | 配置i-line 365nm光源，光源能量值可達(dá)400mW/cm2 |
壓力控制 | 真空腔≤100Pa；氣壓腔0.0-0.3bar，采用進(jìn)口干泵機(jī) |
壓印平臺(tái) | 平整度TTV<5μm，確保長期的高精度、高穩(wěn)定性 |
檢測模塊 | 配置氣壓及溫度檢測模塊,與軟件配套，可實(shí)現(xiàn)特定環(huán)境的控制 |
通訊接口 | USB2.0標(biāo)準(zhǔn)計(jì)算機(jī)與儀器通訊接口 |
壓印室尺寸 | 直徑~105mm，高度~12mm（4寸） |
應(yīng)用軟件 | 支持自定義 ：可根據(jù)客戶壓印材料不同，控制不同氣溫，UV紫外照射時(shí)間及量 |
操作控制：提供簡單易操作的控制流程，同時(shí)支持管理員模式更改個(gè)別需求參數(shù) | |
實(shí)時(shí)監(jiān)控：監(jiān)控壓印腔體內(nèi)的溫度、壓力數(shù)據(jù)，實(shí)時(shí)反映在監(jiān)控軟件上 |
p.s.為保持服務(wù)的專業(yè)性及穩(wěn)定性，睿度光電產(chǎn)品均無代理，煩請(qǐng)通過以下方式與我司聯(lián)系，
咨詢郵箱：service，總部電話：+86-21-
?● DOE（人臉識(shí)別衍射元器件） | ●? Diffuesr（擴(kuò)散元器件） | ?● AR波導(dǎo)片 |
●? 微透鏡陣列 | ?● 微流控芯片 | ●? 微針 |
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