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上海洛豐精密檢測儀器有限公司
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上海洛豐精密檢測儀器有限公司
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產(chǎn)品型號VeriFire
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地上海市
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更新時間：2025-05-31 09:41:15瀏覽次數(shù)：5次
聯(lián)系我時，請告知來自 紡織服裝機(jī)械網(wǎng)菲索型激光干涉儀，具有環(huán)形光源偽跡消除抑制技術(shù)，是一種高精度、共光路面形計量干涉儀。ZYGO新一代激光干涉儀系列--VeriFire激光干涉儀，繼承了工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)GPI激光干涉儀系列的大部分優(yōu)點(diǎn)，融合了機(jī)械相移技術(shù)、革命性的數(shù)據(jù)采集技術(shù)、高性能的光電成像系統(tǒng)、振動補(bǔ)償軟件、非球面測量技術(shù)和波紋抑制技術(shù)等。 Zygo推出用于在震動環(huán)境下測量的DynaFiz干涉儀。
系統(tǒng):
◆測量功能：精密測量各種反射面和光學(xué)系統(tǒng)的表面面形、精密測量光學(xué)系統(tǒng)的傳輸波前
◆測量技術(shù)：機(jī)械相移干涉測量（PSI）
◆校準(zhǔn)系統(tǒng) ：快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS) (雙光點(diǎn)定位于十字線)
◆測量光束直徑 ：4″（102mm）或6″（152mm）
◆對準(zhǔn)視場范圍FOV ：4″：±3°；6″：±2°；
◆光學(xué)中心線 ：4.25″（108mm）
◆激光光源：大功率穩(wěn)頻氦-氖激光，III
◆波長： 633 nm
◆頻率穩(wěn)定度： < 0.0001 nm
◆相干長度 ：＞100m
◆成像分辨率 ：1000 x 1000 像素
◆幀速 ：43Hz
◆數(shù)據(jù)采集時間 ：302ms
◆數(shù)據(jù)模式： 8位
◆放大 ：電控數(shù)顯放大1-5X
◆偏振 ：接近圓偏振（1.2：1或者更好）
◆光曈調(diào)焦范圍： 4″：±2.5m；6″：±5.5m；
◆計算機(jī)和軟件 ：高性能DELL PC，Windows7，64位，ZYGO軟件MetroproTM X和MetroproTM 9
◆安裝構(gòu)造 ：水平臥式或垂直立式
◆附件 ：詳細(xì)參考ZYGO 激光干涉儀附件向?qū)募?，OMP-0463
◆尺寸(長x寬x高)： 4″：69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.)；6″：92 x 31 x 34cm （36.4 x 12.1 x 13.4 in.）
性能參數(shù)：
◆RMS重復(fù)性： < 0.06 nm, λ/10,000 (2σ)
◆RMS波前重復(fù)性：< 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ)
◆像素峰值偏差：< 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %)
工作環(huán)境：
◆溫度:15°C - 30°C (59°F - 86°F)
◆溫度變化率： ＜1.0°C/15min
◆濕度:相對濕度5% - 95% , 無凝結(jié)
◆隔振:機(jī)械移相測量模式推薦使用被動隔振系統(tǒng)。
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