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全自動立式退火爐

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更新時間：2024-12-16 10:20:51瀏覽次數(shù)：29次

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合肥真萍電子科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品用途：用于IC集成電路、MEMS、電力電子器件、光電子器件等領(lǐng)域，主要適用于6"、8"、12"晶圓的合金、退火等工藝。退火是在中低溫條件下，通入惰性氣體（N2），消除硅片界面處晶格缺陷和晶格損傷，優(yōu)化硅片界面質(zhì)量的一種工藝。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點：

1.一體式人機操作系統(tǒng)，連續(xù)式自動化生產(chǎn)，工作效率高，節(jié)約人工成本、電能及工藝時間；

2.FEC加熱，升溫迅速且均勻度好；

3.優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，表面經(jīng)物理及化學(xué)拋光處理，確保潔凈度；

技術(shù)參數(shù)：

型號		TAST2075D112-N			TAST3075D112-N
處理產(chǎn)品		6/8/12inch 晶圓	處理量			100PCS/管
加熱器		圓形FEC加熱板
上料口		2個	機械手			1
溫度范圍		長期使用溫度: 1050℃，溫度：1200℃
升溫速率		＜10℃/min		降溫速率		＜5℃/min
爐溫均勻性		±℃（1050℃恒溫）		加熱溫區(qū)		3個
溫度控制方式		SSR		程序控制		P.I.D控制
爐膛材料		石英		保溫材料		陶瓷纖維
氣氛控制	多路流量計調(diào)節(jié)進(jìn)氣，流量計量程：0-150L/min					氣氛	N2
排氣系統(tǒng)	在頂部設(shè)置排氣煙囪，用于廢氣排放,回收