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行業(yè)產(chǎn)品

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深圳市長豐檢測設(shè)備有限公司


RPS晶圓干法去膠機

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參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地深圳市

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更新時間：2024-05-08 10:40:40瀏覽次數(shù)：139次

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產(chǎn)品簡介

一、常規(guī)參數(shù)1.安裝尺寸：1300*2300*2000mm（寬*長*高）2.設(shè)備參數(shù)配置：三相電壓380V，50/60Hz，總電流不超過50A;3.設(shè)備部署環(huán)境：萬級淨化間,溫度21~23℃，相對濕度45±5%

詳細介紹

一、常規(guī)參數(shù)

1.安裝尺寸：1300*2300*2000mm（寬*長*高）

2.設(shè)備參數(shù)配置：三相電壓380V，50/60Hz，總電流不超過50A;

3.設(shè)備部署環(huán)境：萬級淨化間, 溫度21~23℃，相對濕度45±5%；

4. MTTR/平均故障修復時間＜4小時，MTBF/平均時間＞250小時,

Uptime/正常運行時間≥92% .

5. Wafer Breakage/碎片率≤1/10000PCs

6.Descum WPH/descum 產(chǎn)能≥90wafers（基於20秒descum工藝時間程式）

7.base pressure/腔體底壓≤20mTorr；leakage check腔體漏率≤10mtorr/min

8.Partical/顆粒度 :＜30ea@0.2um  腔體單次傳片大於0.2um的顆粒增加量小於20顆

9.支持SECS/GEM通訊協(xié)議

二、技術(shù)規(guī)格

2.1設(shè)備規(guī)格

主機部分

No.

Item/專案

Specification/規(guī)格說明

1

Plasma Source

 

RPS Plasma Source/微波等離子源,1000W, 2.45GHz

RF bias（底部射頻偏壓） 600W，13.56MHz

2

Process Chamber

工作臺chuck溫度範圍: 20~50℃;

可選chuck控溫：50~250℃

水冷機控溫

適合wafer尺寸: 200mm wafer

腔體數(shù)量: 2個 Al 6061 腔體

腔體自動門：中國臺灣AdvanTorr

3

Gas Supply System

單個腔體工藝氣路：3路

MFC品牌：MKS

腔體氣路: O2/N2/Ar，CF4為選配氣體

4

Vacuum System

幹泵: 愛德華

壓力控制: Throttle valve 蝶閥 中國臺灣HTC

真空計:Inficon Vacuum Gauge

5

Auto Wafer Transfer  System

上料臺：2 cassette 上料臺，適合 8 inch wafers；

Cassette wafer mapping：晶圓擺放檢測

VAC Robot； 日本JEL

6

Control System

PC：工業(yè)電腦 Windows系統(tǒng)控制；

操作軟體: 介面友好，圖形化視圖，自動保存log檔

7

Safety System

EMO: 三個急停按鈕

Interlock硬體安全互鎖: 硬體互鎖包括 Power/Temp/Vacuum



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