一、概述

     ME-Mapping 光譜橢偏儀是一款可定制化Mapping繪制化測量光譜橢偏儀，配置全自動Mapping測量模塊，通過橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測量，快速實現(xiàn)薄膜全基片膜厚以及光學參數(shù)自定義繪制化測量表征和分析。

■ 全基片橢偏繪制化測量解決方案；

■ 支持產(chǎn)品設計以及功能模塊定制化，一鍵繪制測量；

■ 配置Mapping模塊，全基片自定義多點定位測量能力；

■ 豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結(jié)構(gòu)模型庫，保證強大數(shù)據(jù)分析能力。

二、產(chǎn)品特點

■ 采用氘燈和鹵素燈復合光源，光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-2500nm)；

■ 高精度旋轉(zhuǎn)補償器調(diào)制、PCRSA配置，實現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集；

■ 具備全基片自定義多點自動定位測量能力，提供全面膜厚檢測分析報告；

■ 數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫、多種算法模型庫，涵蓋了目前絕大部分的光電材料。

三、產(chǎn)品應用

      ME-Mapping廣泛應用OLED，LED，光伏，集成電路等工業(yè)應用中,實現(xiàn)大尺寸全基片膜厚、光學常數(shù)以及膜厚分布快速測量與表征。

可選配件

技術(shù)參數(shù)