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日立5300E環(huán)境多功能原子力顯微鏡

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

AFM5300E是一款環(huán)境型原子力顯微鏡，它的環(huán)境控制單元可以使樣品在大氣中、真空中、溶液中等環(huán)境中進(jìn)行測(cè)量。AFM5300E還具有高低溫控制功能，可以檢測(cè)溫度對(duì)樣品表面形貌和物理特性的影響?！? 特點(diǎn)1. 環(huán)境控制功能（大氣，真空，液體，溫控等）AFM5300E能夠?qū)崿F(xiàn)高真空的測(cè)試環(huán)境，限度減小樣品表面吸附水對(duì)測(cè)試的影響，實(shí)現(xiàn)精確的物理特性測(cè)量。真空環(huán)境下可以實(shí)現(xiàn)更大范圍的溫...

詳細(xì)介紹

概述

產(chǎn)品參數(shù)

AFM5300E是一款環(huán)境型原子力顯微鏡，它的環(huán)境控制單元可以使樣品在大氣中、真空中、溶液中等環(huán)境中進(jìn)行測(cè)量。AFM5300E還具有高低溫控制功能，可以檢測(cè)溫度對(duì)樣品表面形貌和物理特性的影響。

1. 環(huán)境控制功能（大氣，真空，液體，溫控等）

AFM5300E能夠?qū)崿F(xiàn)高真空的測(cè)試環(huán)境，限度減小樣品表面吸附水對(duì)測(cè)試的影響，實(shí)現(xiàn)精確的物理特性測(cè)量。真空環(huán)境下可以實(shí)現(xiàn)更大范圍的溫度控制。另外，新開(kāi)發(fā)的『溫度掃描功能』可監(jiān)視樣品Z方向的熱脹冷縮，通過(guò)控制反饋信號(hào)，使懸臂在變溫環(huán)境下連續(xù)測(cè)試樣品表面的物理特性。
（3857581號(hào)、3926638號(hào)）

●大氣中　●液體中　●真空中　●特殊氣氛（流量控制）
●溫度控制加熱?冷卻(-120～300℃)　高溫(室溫～800℃)
●濕度控制(0～80%)
●外加磁場(chǎng)（水平、垂直、面內(nèi)旋轉(zhuǎn)、max 5000 Oe ）

2. 簡(jiǎn)便操作（綜合型Holder Flange）

通過(guò)采用『綜合型Holder Flange開(kāi)合功能』，樣品和掃描器更換更為方便的同時(shí)，免去了以往環(huán)境型SPM的樣品更換后的所需的光軸調(diào)整。也省去測(cè)試模式切換時(shí)的支架更換環(huán)節(jié)。

3. 的高性能

采用了『Swing Cancel功能』，減輕了樣品的浮動(dòng)，降低了漂移。提高了納米分析性能，提升了可信度。漂移量：0.015nm/sec以下

4. 通過(guò)減輕表面吸附水的影響，提高了電氣性能的檢測(cè)精度

真空環(huán)境下減輕樣品表面吸附的水分和污染物的影響，因而實(shí)現(xiàn)高分辨高靈敏的電學(xué)性能分析。

產(chǎn)品參數(shù)

分辨率	原子相
樣品尺寸	20 mmφ、厚度10 mm (用配件厚度擴(kuò)展至20 mm)
樣品移動(dòng)范圍	X-Y stage 5 mm
掃描范圍	標(biāo)準(zhǔn)： 20 µm□/1.5 µmH ? 150 µm□/5 µmH ? 15 µm□/1.5 µmH（閉環(huán)差控制）定位顯微鏡 ? 簡(jiǎn)易顯微鏡（×200倍） ? 光學(xué)顯微鏡（×1000倍） ? 變焦顯微鏡（×700倍） ? 金相顯微鏡（裝有微分干渉）（×2000倍）
檢測(cè)功能	AFM（接觸模式） DFM（輕敲模式） PM（相位） FFM（摩擦） MFM（磁力） SIS模式 LM-FFM（橫向摩擦） VE-AFM/DFM（粘彈性） Adhesion（吸附力） CURRENT（電流） SSRM（擴(kuò)展抵抗） SNDM（非線(xiàn)性介電常數(shù)） PRM（壓電響應(yīng)）、KFM（表面電位）液體中AFM/DFM EC-AFM/STM NanoIndentation（硬度） Nano-TA（微區(qū)加熱）
選配件	高溫加熱樣品臺(tái) 加熱冷卻兼用樣品臺(tái) 冷卻真空溫度控制