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MX63半導(dǎo)體與平板顯示器檢測

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產(chǎn)品簡介

讓您的大尺寸樣品檢測流程更加順暢MX63和MX63L顯微鏡系統(tǒng)特別適合尺寸300毫米的晶圓、平板顯示器、電路板、以及其他大尺寸樣品的高質(zhì)量檢測。其采用的模塊化設(shè)計可讓您根據(jù)需要選擇組件，獲得根據(jù)應(yīng)用定制的系統(tǒng)。這兩款符合人體工學(xué)設(shè)計且人性化的顯微鏡有助于在提高工作效率的同時保持檢測者的工作舒適性。在與奧林巴斯Stream圖像分析軟件結(jié)合使用情況下，可以簡化從觀察到報告生成的整體工作流。的分析工具MX63系列的各種觀察功能可生成清晰銳利的圖像，讓用戶能夠?qū)悠愤M行可靠的缺陷檢測。全新照明技術(shù)以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項為用戶評估樣品和存檔檢測結(jié)果提供更多選擇。從不可見到可見：MIX觀察與圖像采集通過將暗場與諸如明場、熒光或偏光等其他觀察方法結(jié)合使用，MIX觀察技術(shù)能夠獲得的觀察圖像。MIX觀察技術(shù)可讓用戶發(fā)現(xiàn)用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷。暗場觀察所用的環(huán)形LED照明器具有在時間僅使用四分之一象限的定向暗場功能。該功能可減少樣品光暈，對于樣品表面紋理的可視化非常有用。??

詳細介紹

功能性：適合所有晶園尺寸
特別適用于半導(dǎo)體、平板顯示、印制電路板等行業(yè)的大尺寸樣品檢測。MX63可用于大晶圓
直徑200mm，MX63L可用于大晶圓直徑300mm。此外，新顯微鏡還可以選配晶園搬送機，實現(xiàn)

可靠、安全、高效的對晶圓正面和背面進行檢測。

新MX63/MX63L顯微鏡配備了高強度白光LED光源，兼顧低功耗和長壽命的優(yōu)點，而且其穩(wěn)定的色溫

為可靠的圖像質(zhì)量和精確的色彩復(fù)現(xiàn)提供了保障。

新MX63/MX63L顯微鏡是該系列支持奧林巴斯MIX照明功能的產(chǎn)品，由此進一步提升了該顯微
鏡的觀察能力。MIX可將暗場與明場、熒光或偏振等其他觀察方法結(jié)合使用。在很多應(yīng)用中，
MIX能夠幫助用戶觀察到使用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷。

利用HDR采集明亮區(qū)域和暗光區(qū)域
利用的圖像處理技術(shù)，高動態(tài)范圍(HDR)可在圖像內(nèi)調(diào)整亮度差異，以減少眩光。HDR改善
了數(shù)字圖像的視覺品質(zhì)，從而有助于生成具有專業(yè)級的報告。

利用光強管理器和自動孔徑控制實現(xiàn)快速觀察
對于常規(guī)顯微鏡，使用者每次觀察都需要調(diào)整光強度和孔徑。MX63系列讓使用者能夠針對不同
的倍率和觀察方法設(shè)定光強和孔徑條件。這些能夠輕松調(diào)用的設(shè)置即可幫助使用者節(jié)省時間又
可獲得優(yōu)良的圖像質(zhì)量。

從基本測量到高級分析
測量對于品質(zhì)、工藝控制和檢測非常重要?；谶@一想法，即便入門級奧林巴斯Stream軟件包
也包括交互測量功能的全部菜單，并且所有測量結(jié)果與圖像文件一起保存以便日后調(diào)用文檔。
此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復(fù)雜圖像分析提供直觀的工作流界面。點擊按鈕，圖
像分析任務(wù)即可快速精準(zhǔn)完成?？纱蠓瓤s減重復(fù)性任務(wù)的處理時間，使操作人員的精力集中
在檢測工作上。

讓您的大尺寸樣品檢測流程更加順暢
MX63和MX63L顯微鏡系統(tǒng)特別適合尺寸300毫米的晶圓、平板顯示器、電路板、以及其他大尺寸樣品的高質(zhì)量檢測。其采用的模塊化設(shè)計可讓您根據(jù)需要選擇組件，獲得根據(jù)應(yīng)用定制的系統(tǒng)。
這兩款符合人體工學(xué)設(shè)計且人性化的顯微鏡有助于在提高工作效率的同時保持檢測者的工作舒適性。在與奧林巴斯Stream圖像分析軟件結(jié)合使用情況下，可以簡化從觀察到報告生成的整體工作流。
的分析工具
MX63系列的各種觀察功能可生成清晰銳利的圖像，讓用戶能夠?qū)悠愤M行可靠的缺陷檢測。全新照明技術(shù)以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項為用戶評估樣品和存檔檢測結(jié)果提供更多選擇。
從不可見到可見：MIX觀察與圖像采集
通過將暗場與諸如明場、熒光或偏光等其他觀察方法結(jié)合使用，MIX觀察技術(shù)能夠獲得的觀察圖像。MIX觀察技術(shù)可讓用戶發(fā)現(xiàn)用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷。暗場觀察所用的環(huán)形LED照明器具有在時間僅使用四分之一象限的定向暗場功能。該功能可減少樣品光暈，對于樣品表面紋理的可視化非常有用。

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