產(chǎn)品介紹:
■臺面材料采用健康型天然大理石平臺,其明顯優(yōu)點(diǎn)是平面度好、質(zhì)量大、穩(wěn)定性好、耐腐蝕性強(qiáng)。■隔振器采用高阻尼低頻空氣彈簧,配帶無油空壓機(jī),隔振性能優(yōu)良,系統(tǒng)穩(wěn)定。具有自動(dòng)水平,自動(dòng)充氣,噪聲低等特點(diǎn)。關(guān)鍵氣動(dòng)執(zhí)行元件均采用進(jìn)口產(chǎn)品。
■該產(chǎn)品適用于XY精密移動(dòng)檢測平臺,晶圓檢測,芯片檢測,輪廓儀,點(diǎn)膠機(jī)檢測等平面度要求高的實(shí)驗(yàn)。技術(shù)指標(biāo):
■平面度:00級
■固有頻率:x方向:1.5Hz~2Hz y方向:1.5Hz~2Hz
■重復(fù)定位精度:±0.05mm
■比重:2970 ~ 3070 kg/㎡
■抗壓強(qiáng)度:245?254 Mpa
■彈性模量:1.27 ~ 1.47 Gpa
■線膨脹系數(shù):4.61x10—6/0 C
■吸水率:<0.31%
■肖氏硬度:70 Hs以上
■接受特殊規(guī)格尺寸訂做