氣態(tài)氯硅烷組分分析是采用填充柱進(jìn)行高效分析的色譜方法。為了充分利用填充柱的高效分離特性，需采用與之配套的進(jìn)樣和檢測系統(tǒng)。普瑞GC-9280型氣相色譜儀采用六通閥進(jìn)樣，并裝有液體進(jìn)樣氣化室，兼分析液態(tài)氯硅烷。

1.氣態(tài)氯硅烷組分分析的方法原理  氣態(tài)氯硅烷組分分析是采用填充柱進(jìn)行高效分析的色譜方法。為了充分利用填充柱的高效分離特性，需采用與之配套的進(jìn)樣和檢測系統(tǒng)。本方法采用六通閥進(jìn)樣，并裝有液體進(jìn)樣氣化室，兼分析液態(tài)氯硅烷。  

2.適用范圍  適用于氣態(tài)氯硅烷組分分析  

3.分析依據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)  YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氫硅中其他氯硅烷含量的測定 氣相色譜法  

4.氣態(tài)氯硅烷組分分析氣相色譜描述 

4.1. 用途  氣態(tài)氯硅烷組分分析，如二氯二氫硅、三氯氫硅、四氯化硅。

4.2. 儀器型號  北京普瑞儀器有限公司GC-9280型氣相色譜儀  

4.3. 系統(tǒng)配置描述  本方案配置了雙閥進(jìn)樣口，雙液體進(jìn)樣口，兩閥四柱，2 個 TCD 檢測器等組成。

5. 技術(shù)參數(shù)