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PCE-6V小型等離子清洗機(jī)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:PCE-6V小型等離子清洗機(jī)集成了RF等離子體發(fā)生技術(shù)、計(jì)算機(jī)控制技術(shù)、軟件編程技術(shù),采用氣體作為清洗介質(zhì),有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來(lái)的二次污染

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:PCE-6V小型等離子清洗機(jī)集成了RF等離子體發(fā)生技術(shù)、計(jì)算機(jī)控制技術(shù)、軟件編程技術(shù),采用氣體作為清洗介質(zhì),有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來(lái)的二次污染。工作時(shí)外接一臺(tái)真空泵,清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,可短時(shí)間內(nèi)清洗掉有機(jī)污染物,清洗程度可達(dá)到分子級(jí)。PCE-6V小型等離子清洗機(jī)的樣品臺(tái)可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的離子蝕刻。此外,其可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。設(shè)備體積小,操作簡(jiǎn)單,應(yīng)用廣泛。

產(chǎn)品名稱(chēng)

PCE-6V小型等離子清洗機(jī)

產(chǎn)品型號(hào)

PCE-6V

主要特點(diǎn)

1、采用氣體作為清洗介質(zhì),避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來(lái)的二次污染。

2、可短時(shí)間內(nèi)清洗掉有機(jī)污染物

3、清洗程度可達(dá)到分子級(jí)。

4可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。

5、清洗過(guò)程中的輝光放電可對(duì)某些特殊用途的材料加強(qiáng)粘附性、相容性和浸潤(rùn)性,并可消毒和殺菌。

6、樣品臺(tái)可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實(shí)現(xiàn)離子蝕刻。

7、廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。

技術(shù)參數(shù)

1電壓:AC220V  10A

2、消耗功率:<>(包括真空泵)

3、RF電源:輸出功率100W,輸出頻率13.56MHz

4、腔體:?190mm×98mm

5、石英管:?180mm×55mm,壁厚7mm

6、內(nèi)腔:?165mm×55mm

 7、清洗電極:?120mm 

8、樣品臺(tái):?150mm,有效尺寸?140mm

9、樣品臺(tái)與電極間距:15mm-50mm可調(diào)

 10、抽氣管:?12mm

 11、極限真空度:0.1Pa

 12、工作真空度:60Pa-500Pa

 13、氣路數(shù)量:2路(選裝)

 14、流量控制器數(shù)量:1、2

 15、流量顯示儀:2通道

 16、氣路接口:?6mm

 17、加熱樣品臺(tái):?140mm,加熱樣品溫度RT-600℃±1℃(選裝)

 18、冷卻水壓力:0.2KPa-0.4KPa

 19、工作環(huán)境:溫度5-35℃,濕度<>(相對(duì)濕度)不結(jié)露,海拔高度0-2000m

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵),重量:20kg(不含真空泵)

可選配置

1、加熱樣品臺(tái)

2、流量控制器(量程10、50、100,可增加通道數(shù)≤2

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