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PT-60-MF等離子清洗機

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成都眾儀科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

MFPLASMA系列產(chǎn)品概況廠家：天科創(chuàng)達產(chǎn)地：中國專為工廠生產(chǎn)設(shè)計

詳細介紹

MF PLASMA系列

產(chǎn)品概況

廠家：天科創(chuàng)達

產(chǎn)地：中國

專為工廠生產(chǎn)設(shè)計，適用材料清潔與活化

可用于處理各種高分子材料，金屬，玻璃等表面

腔體內(nèi)氣浴設(shè)計，工藝氣體分布更加均勻

規(guī)格參數(shù)

設(shè)備型號	PT-20-MF	PT-35-MF	PT-60-MF
真空腔體	W260mm;D300mm;H260 mm	W290mm;D350mm;H280 mm	W400mm;D400mm;H400mm
射頻電源	1000W;40KHz 300W；13.56MHz	1000W;40KHz 300W；13.56MHz	1000W;40KHz 500W；13.56MHz
真空計	1×10^-2～1×10⁵	1×10^-2～1×10⁵	1×10^-2～1×10⁵
流量計	2通道MFC （0-200sccm）	2通道MFC （0-200sccm）	2通道MFC （0-200sccm）
工藝氣體	氧氣，氬氣，氫氣，氮氣等
控制方式	手動/自動	手動/自動	手動/自動
人機界面	10寸觸摸屏	10寸觸摸屏	10寸觸摸屏
主機尺寸	800（W）×800（D）×1800（H）	800（W）×800（D）×1800（H）	800（W）×800（D）×1800（H）
真空泵	可選干泵或油泵
安裝條件	AC220V；50/60Hz；2Phase 3Wire 或者 AC380V；50/60Hz；3Phase 5Wire
其他說明	有單獨通風泄壓通道，設(shè)備相關(guān)配置可按要求定制