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顯微激光測(cè)振儀MLV-100

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顯微激光測(cè)振儀

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MLV-100顯微激光測(cè)振儀通過顯微光學(xué)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)對(duì)微小物體的振動(dòng)測(cè)量，使激光光斑達(dá)到微米量級(jí)，提高測(cè)量的準(zhǔn)確性，并可通過顯微成像系統(tǒng)實(shí)時(shí)觀察物體的振動(dòng)狀態(tài)。隨著MEMS的日益發(fā)展，顯微式激光測(cè)振儀可以測(cè)量MEMS元器件的振動(dòng)和形貌，是專門對(duì)微結(jié)構(gòu)的振動(dòng)測(cè)量以及可視化測(cè)量分析的理想工具。顯微激光測(cè)振儀MLV-100顯微激光測(cè)振儀MLV-100

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顯微激光測(cè)振儀MLV-100

MLV-100顯微激光測(cè)振儀通過顯微光學(xué)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)對(duì)微小物體的振動(dòng)測(cè)量，使激光光斑達(dá)到微米量級(jí)，提高測(cè)量的準(zhǔn)確性，并可通過顯微成像系統(tǒng)實(shí)時(shí)觀察物體的振動(dòng)狀態(tài)。
隨著MEMS的日益發(fā)展，顯微式激光測(cè)振儀可以測(cè)量MEMS元器件的振動(dòng)和形貌，是專門對(duì)微結(jié)構(gòu)的振動(dòng)測(cè)量以及可視化測(cè)量分析的理想工具。

點(diǎn)直徑*		大約10um
頻率響應(yīng)范圍*		DC to 25KHz， DC to 100KHz， DC to 1MHz/2.5MHz
測(cè)量速度范圍	法向*	50mm/s,500mm/s,1m/s5m/s10m/s
	切向*	150mm/s, 1500mm/s, 15m/s，30m/s
濾波設(shè)置		高通、低通濾波設(shè)置
顯微鏡
目鏡	放大倍率	W.D	光束直徑
	5X	34mm	30um
	10X	34mm	20um
	20X/50X	20mm/13mm	10um/2um
X-Y平臺(tái)
尺寸	100X100mm
移動(dòng)范圍	+/-10mm
分辨率	0.001mm