上海沛沅儀器設備有限公司
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產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地上海
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更新時間：2024-06-02 18:48:11瀏覽次數(shù)：177次
聯(lián)系我時，請告知來自 紡織服裝機械網(wǎng)PLUTO-80是專為研發(fā)而設計的全功能等離子體系統(tǒng)，13.56MHz射頻發(fā)生器和自動匹配網(wǎng)絡電源在整個過程區(qū)域產(chǎn)生均勻的等離子體。Pluto80的真空腔可支持多達7個可調(diào)節(jié)樣品架，以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto80具有多種電極設置，可配置成RIE和PECVD模式，從而擴大了該系統(tǒng)的應用范圍，提供給用戶的靈活性。
產(chǎn)品特點
技術參數(shù)
應用領域PLUTO-80是面向大半導體市場工業(yè)級客戶與研發(fā)型客戶使用需求設計的等離子處理設備，適用于等離子清洗、活化以及刻蝕等多種應用。設備可在嚴苛
環(huán)境下穩(wěn)定運行，獲得高度均一化的處理效果。
光刻膠去除——去除表面殘膠，形成清潔、活化的表面。
密封前處理——經(jīng)由等離子活化樣品表面，提升塑封料的結合力，減少分層、空洞等不良的產(chǎn)生。
金屬鍵合前處理——通過等離子處理去除焊盤表面的金屬氧化層，提升后續(xù)鍵合工藝的良率和結合力。
底部填充前處理——等離子活化提升膠體在表面的流動性，消除空洞與起泡，增強填充效果。
表面粗化與微蝕——消除表面盈利，使材料更易結合。
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