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AURIGA Compact

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AURIGACompact探索三維納米世界AURIGACompact聚焦離子束掃描電鏡讓您進(jìn)入三維納米斷層成像世界

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AURIGA Compact

探索三維納米世界

AURIGA Compact 聚焦離子束掃描電鏡讓您進(jìn)入三維納米斷層成像世界。它將高分辨率成像與聚焦離子束的刻蝕性能結(jié)合在一起。您能夠獲得各類樣品的的材料對(duì)比度以及形貌對(duì)比度，甚至可以在 1 kV的加速電壓下達(dá)到 2.5 nm 的高分辨率。將 in-lens SE 和 BSE 探測(cè)器與局部電荷中和器組合，拓展在納米成像、三維分析、樣品制備及納米加工領(lǐng)域的應(yīng)用范圍。